BM9 - InterMETAL

59 METROLOGIA para assegurar a ventilação de ar no interior da cabeça de leitura; cabos com isolamento PTFE e cobre trançado banhado; e gravação laser em vez de etiquetas, para eliminar os adesivos. Quanto ao utilizador final, uma cuida- dosa conceção dos equipamentos de vácuo reduz o tempo de bombagem, melhora o controlo dos processos e aumenta a produção. A SOLUÇÃO A VAD projeta e fabrica plataformas de movimento de precisão e equipamen- tos de processamento à medida para ambientes de vácuo. Os seus produtos de controlo de movimento utilizam os sistemas de leitores Tonic da Renishaw, com réguas específicas, de acordo com os requisitos de precisão. Don Baek-Kyun Song, presidente da VAD, explica: “Os nossos modelos de plataforma geral estão equipados com réguas de fita de aço inoxidável da série RTLC. Para aplicações de vácuo avançadas, como equipamentos de inspeção ótica automática (AOI) de ecrãs planos ou de processamento de semicondutores, utilizamos as réguas RELM de maior precisão. A régua é lida por meio de uma cabeça de leitura Tonic compatível com vácuo, ligada a uma interface instalada fora da câmara de vácuo. Existem muitos produtos leitores de alta precisão no mercado, mas apenas muito poucos são com- patíveis com aplicações de vácuo. O leitor UHV Tonic da Renishaw propor- ciona um desempenho e fiabilidade excelentes, pelo que é a nossa prin- cipal escolha”. Os leitores UHV Tonic, desde os cabos até às cabeças de leitura e às réguas, estão concebidos para suportar pres- sões abaixo dos 10-9 mbar. A cabeça de leitura UHV Tonic está equipada com um cabo blindado RFI, e o seu princípio básico de funcionamento, as suas especificações e o seu desempe- nho, são os mesmos que no modelo Tonic standard. O leitor é fabricado commateriais compatíveis com vácuo e salas limpas, e é concebido para permitir a evacuação completa da carcaça da cabeça de leitura. As cabe- ças de leitura e as réguas UHV Tonic contam também com a certificação de uma agência de ensaios indepen- dente através da análise dos dados obtidos num espetrómetro de massa quadrupolo de gás residual (RGA). O invólucro com selagem especial de papel de alumínio de cada leitor Plataforma para inspeção ótica automática (AOI) de ecrãs planos (FPD). UHV Tonic garante uma entrega ao cliente em condições de sala limpa. A série de leitores Tonic oferece uma extensa gama de opções de cabeça de leitura, que permite o emparelha- mento comuma diversidade de réguas compatíveis. Song explica o critério da VAD ao escolher as réguas do leitor: "Alguns dos nossos modelos de alta gama utilizam a régua de alta pre- cisão RELM, com expansão térmica praticamente nula, que garante a pre- cisão de posição em ambientes com grandes variações de temperatura. Por exemplo, as temperaturas dentro de uma câmara de vácuo podemvariar até 100 °C entre um lado e outro. Os produtos leitores da Renishaw des- frutam de uma boa reputação no mercado; a série de leitores Tonic é utilizada em equipamentos de alto desempenho e conta com um amplo reconhecimento no setor. Além disso, o serviço pós-venda da Renishaw é excelente e inclui boletins de produto periódicos. Para nós, omais importante